瀚文紫外臭氧清洗仪是一款用于无机基材（比如：石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等）表面有机污染物去除的表面清洗设备。

山东瀚文紫外臭氧清洗机是一款用于无机基材（比如：石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等）表面有机污染物去除的表面清洗设备。低压紫外汞灯能够同时发射波长254nm和185nm的紫外光，在这两种短波紫外光的照射下，活化有机物分子与活性氧原子发生氧化反应，生成挥发性气体逸出样品表面，从而清除粘附在样品表面上的有机污染物。